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반도체 공정을 위한
인텔리전트 원격 설비 관리

어드밴텍 IoT 디바이스를 이용한 설비 관리 시스템

한글 적용사례집 다운로드 솔루션 제품 무료 데모 신청

반도체 제조는 많은 개별 단계로 구성된 복잡한 공정 흐름을 특징으로 합니다. 웨이퍼 제작 및 정렬에서 부터 조립, 테스트, 패키징, 배송까지 일련의 과정 중 다수는 매우 정밀한 가공이 필요합니다.

어드밴텍의 지능형 원격 설비 관리 제품 포트폴리오는 데이터 수집, 시스템 상태 모니터링, 장치 관리의 요구 사항을 충족합니다. 원격 현장의 디바이스에서 데이터를 효과적으로 감지, 수집 및 관리합니다. 또한 스위치, 라우터, 게이트웨이 등 어드밴텍의 통신 솔루션과 WebAccess/SCADA와 같은 SCADA 소프트웨어를 통해 감시 제어, 데이터 분석 및 시각화를 위한 추가 분석을 성공적으로 수행할 수 있습니다.

이와 같이 현장과 클라우드를 연결하는 포괄적인 솔루션은 시스템 효율성, 안정성 및 확장성을 보장합니다. 또한 반도체 제조업체 및 장비 구축업체의 관리 기능뿐만 아니라 제품 품질 향상에 도움이 됩니다.

인텔리전트 원격 설비 관리 제품 특징
Power over Ethernet (PoE)

분산된 현장 원격 관리

원격 현장의 장비에 대한 중앙 관리 시스템에서 장치 이름을 정의한 레이블을 사용하여 센싱 네트워크를 구성합니다.

Power over Ethernet (PoE)

다목적 데이터수집 인터페이스

산업용 IoT 산업에 일반적으로 사용되는 RS-485 I/O, 이더넷 I/O, 무선 I/O 또는 고속 PCIe 카드를 통해 센서 및 계량기, 장비로부터 데이터를 수집합니다.

Power over Ethernet (PoE)

장비 상태 모니터링

IoT 시설, 환경 및 산업 프로세스를 효과적으로 모니터링하여 장비 효율성, 관리 기능, 직원 안전성을 향상시킵니다.

Power over Ethernet (PoE)

모든 환경을 위한 유무선 솔루션

다양한 유무선 인터페이스와 프로토콜을 지원하여 다양한 네트워킹 환경에서 유연하게 사용할 수 있습니다.

Power over Ethernet (PoE)

다양한 현장에서 검증된 솔루션

반도체 산업의 다양한 애플리케이션에서 발생하는 여러 요구 사항을 충족합니다.

Power over Ethernet (PoE)

통합 H/W 및 S/W 솔루션

DeviceOn/BI, DAQNavi 및 WebAccess/SCADA와 같은 어드밴텍 산업용 소프트웨어는 유무선 I/O 하드웨어, PCIe 카드, 스위치 및 게이트웨이를 위한 포괄적인 원격 설비 관리 및 제어 기능을 제공합니다.

반도체 설비 관리 및 장비 테스트 시스템 적용사례
압축 공기 설비 시스템 로봇 및 CVD/PVD 장비 웨이퍼 광학 검사 폐수 처리 시스템 웨이퍼 프로빙 장비

LoRaWAN 무선 솔루션을 이용한 설비 모니터링

어드밴텍의 LoRaWAN 무선 솔루션에는 진동센서 WISE-2410, 무선 I/O 모듈 WISE-4610, 플렉서블I/O WISE-S617이 포함되어 대만 반도체 제조 공장의 CDA 시스템에서 압축기 검사, 환경 및 설비 전류/전원 모니터링을 지원니다.

간편하고 안정적이며 비용 효율적인 프라이빗 LoRaWAN 네트워크 솔루션은 반도체 업계의 다양한 설비 모니터링 애플리케이션에 최적화 되어있습니다.

머신 데이터 수집 및 분석을 지원하는 원격 I/O 솔루션

자동화된 반도체 제조 공정에서 로봇과 CVD/PVD 머신을 흔히 볼 수 있습니다. 로봇은 웨이퍼를 다양한 생산 라인에서 빠르게 이동하여 생산 수율을 높이고 CVD/PVD 머신을 사용하여 웨이퍼에 박막을 형성합니다. 이와 같은 머신으로부터 데이터를 확보하기 위해서는 지속적인 머신 운영 및 생산 수율을 높일 수 있는 고급 데이터 수집 및 분석 기능이 필요합니다.

ADAM-6217 및 EKI-2728 스위치와 같은 어드밴텍 산업용 원격 I/O 모듈 구성은 이더넷을 통해 주요 매개 변수를 효과적으로 캡처하는 동시에 분석을 위해 VM 서버로 데이터를 전송하여 반도체 관리, 기계 효율성 및 생산 안정성을 향상시킵니다.

웨이퍼 표면 순도 및 평면성 검사를 보장하는 머신 비전 솔루션

CMP(Chemical Mechanical Planalization) 공정에서 웨이퍼 표면 손상 및 스크래치 결함을 찾아 웨이퍼 표면 순도와 평면성을 확보해야 합니다.

어드밴텍은 정밀하고 효율적인 반도체 생산을 위해 산업용 이미지 센서, 고급 컴퓨팅 IPC-220, 프레임 그래버 카드 PCIE-1674E-AE, 산업용 카메라 및 VisionNavi 애플리케이션 소프트웨어를 포함하는 머신 비전 검사 솔루션을 제공합니다.

LoRaWAN 무선 센싱 및 통신을 통한 원격 검사

반도체 제조나 발전소 등 첨단 기술 산업에서는 많은 위험물 및 유해화학물질이 사용됩니다. 이러한 화학 물질은 주변 환경을 오염시킬 뿐만 아니라 폐기물 처리 및 관리 과정도 복잡합니다.

산업 폐기물 처리 시스템은 보통 높은 굴뚝에 가스를 분산시키기 위한 검사 체크 포인트가 존재합니다. 어드밴텍 LoRaWAN 무선 IoT 센싱 장치 WISE-6610 및 WISE-2410은 시스템을 원격으로 모니터링할 수 있어 폐기물 처리 시스템을 위한 완벽한 시설 모니터링 솔루션입니다.

데이터 수집 및 통신을 통한 장비 테스트 및 측정 기능 강화

웨이퍼 테스트는 반도체 소자 제작 시 매우 중요한 단계입니다. 전기적 특성을 정밀하게 측정하는 데 필요한 웨이퍼 프로버(Prober) 장비로 수행됩니다.

어드밴텍 PCIE-1753과 같은 고밀도 디지털 I/O 카드는 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있는 주변 스위치/장치를 제어하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 테스트 시 각 웨이퍼의 전기적 특성을 정확하게 측정하기 위한 아날로그 출력에은 고성능 PCIE-1812와 PCIE-1824가 충족했습니다.

또한 어드밴텍의 포괄적인 DAQ 디바이스와 소프트웨어 개발 키트는 웨이퍼 테스트 장비를 구축하는 데 드는 비용을 효과적으로 제어하고 시간을 단축할 수 있었습니다.

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데이터 수집을 위한 하드웨어

ICR-4453

LoRaWAN 기반 8 채널 게이트웨이

WISE-6610

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WISE-4610

LoRaWAN 기반 무선 진동 센서

WISE-2410

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WISE-2410

LoRaWAN IoT 무선 I/O 모듈 2AI/2DI/1DO/1RS-485

WISE-2410

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ADAM-6217

8 채널 아날로그 입력 Modbus/SNMP/MQTT 2 포트 이더넷 리모트 I/O

ADAM-6217

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ADAM-6250

15 채널 디지털 입출력 Modbus TCP 이더넷 리모트 I/O 모듈

ADAM-6250

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PCIE-1812

8포트 1GE 언매니지드 이더넷 스위치

EKI-2728

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PCIE-1753

96 채널 디지털 I/O PCIE 카드

PCIE-1753

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EKI-2728

250 kS/s, 16-bit, 8 채널 아날로그 인풋 멀티펑션 PCIE 카드

PCIE-1812

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ACP-4340

32 채널 디지털 I/O PCIE 카드 IPC

PCIE-1730H

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AIMB-787

산업용 ATX 마더보드 | 10세대 Intel® Core™ i9/i7/i5/i3 IPC

AIMB-787 + 4U 랙마운트 섀시

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MIC-770 V2

모듈러 IPC | 10th Gen Intel® Xeon®/Core™ i 시리즈 지원 콤팩트 팬리스 시스템

MIC-770 V2

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MIC-75G20

모듈러 IPC | MIC-75G20 GPU i-Module, 1 PCIe x16 + 1 PCIe x4, 전면 듀얼 스토리지 베이

MIC-75G20

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데이터 수집을 위한 소프트웨어
Device management for sensing modules and platforms

WISE-EdgeLink

엣지부터 클라우드까지 PLC/장비 데이터 수집 및 전송

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Machine condition monitoring

DAQNavi

장비 상태 모니터링

상세보기
Device management for sensing modules and platforms

WebAccess/SCADA

센싱 모듈 및 플랫폼을 위한 디바이스 관리

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